解決方案 >> 工業超純水工程方案 　
中國國家電子超純水規格GB/T1146.1-1997
詳細介紹：

指標
EW-I
EW-II
電阻率MΩ.cm(25℃)
18以上(95%時間)不低于17
15(95%時間)不低于13
硅≤µg/l 2 10
>1µM微粒數≤個/ml 0.1 5
細菌個數≤個/ml 0.01 0.1
銅≤µg/l 0.2 1
鋅≤µg/l 0.2 1
鎳≤µg/l 0.1 1
鈉≤µg/l 0.5 2
鉀≤µg/l 0.5 2
氯≤µg/l 1 1
硝酸根≤µg/l 1 1
磷酸根≤µg/l 1 1
硫酸根≤µg/l 1 1
總有機碳≤µg/l
20
 100

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